分光器的分类有很多种,最主要的有两类,分别是FBT型(熔融拉锥式分光器)和PLC型(平面光波导功率分光器)。
与ICP光源配用的平面光栅光谱仪有两种,水平对称成像的艾伯特-法斯梯(Ebert-Fastic)光学系统和切尔尼-特纳(Czerny-Turner)系统。
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